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東莞市日和自動化設備有限公司

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mems芯片,光罩用CO2 清洗機

所屬分類:

mems芯片,光罩用CO2 清洗機


產品描述

設備概要:二氧化碳噴霧精密清洗機

產品:4,6,8 英寸晶圓,MEMS,光罩

功能: 從專用噴嘴噴射干冰粉,以去除顆粒和有機殘留物。晶圓無水清洗防靜電措施,防止結露機械手自動將晶圓從盒中取出并存儲。

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